潔淨車間高純氣體管道的安裝、施工?

2019-04-02 15:21:04        0

潔淨車間對高純氣體的要求十分的嚴格,那麽潔淨車間的高純度氣體管道的安裝、施工需要注意哪些問題呢?今天,小編就爲大家簡單的介紹一下:

洁净厂房中的气体管道是指气体压力小于等于0.8MPa的氢气、氧气、氮气、压缩空气、燃气等一般气体和高纯气体管道及真空管道,其具体的安装要求可参考《洁净室施工及验收规范》(JGJ 71-1990)的有关规定。高纯气体是指其气体纯度大于等于99.9995%,含水量小于5×10-4%的气体。

潔淨廠房廣泛用于電子、生物醫藥、精細化工、精密機械、食品、化妝品等东方伊甸园的生産中,不同东方伊甸园的生産過程中,對所用高純度氣體的品種、純度,以及氣體中允許的雜質濃度或氣體的品質要求差異很大。例如半導體工業,所用氣體品種多,要求特別嚴格。



高純度、高潔淨氣體管道的施工不同于一般工業管道,稍有疏忽便可能破壞氣體的質量。因此,要理解安裝氣體質量的重大意義、要求嚴格遵守設計、施工要求,工作嚴肅認真、一絲不苟,高度重視各個細小環節,建成符合要求的管路系統。要求做到以下幾個方面:

1.外觀的檢查工作

(1)管道系統的管材、閥門及所有附件,嚴格設計要求選用,不得隨意更改或代換。

(2)所有管材應放在室內精心保管,不得露天堆放、日曬和雨淋。

(3)管段端頭要用塑料或橡膠密封罩加以密封,不得脫落、破裂。

(4)管子、管件、閥門等使用前,詳細進行下列外觀檢查:

1)無裂紋、縮孔、折疊、重皮等缺陷。

2)無鏽蝕、蝕斑等現象。

3)管子平直、圓滑,無局部凹陷,無刮傷、擠壓等缺陷。

4)管材內表面的“粗糙度”是否符合設計要求,螺紋處密封、保護是否良好。

5)外購成品“內表面超光滑潔淨管”要有出廠合格證及相關等級證書和資質證明。應隨機抽樣做顯微鏡下檢驗,必須符合設計要求。

6)檢查成品“內表面超光滑潔淨管”的外包裝和相應管端頭的管帽、堵頭等密封措施是否符合要求。

7)法蘭的密封面應當平整、光滑,不得有毛刺及徑向溝槽,凹凸法蘭應當能夠自然嵌合,凸面的高度不得低于凹槽的深度。

8)橡膠、塑料等非金屬墊片,應當質地柔軟、無老化及分層現象,表面不得有折損、皺紋等現象。金屬墊片的加工尺寸、精度、厚度、表面粗糙度、硬度、厚度等均要符合要求,表面不得有裂紋、毛刺、凹槽、徑向劃痕和鏽斑等缺陷。

2.配管的准備工作

(1)無論多大壓力、何種介質及何種用途的配管,下料時均不得采用氧、乙炔焰切割。無論是機械或手工下料,分段處不得塗抹油脂或使用潤滑劑。

(2)管子切口應當與管軸線嚴格垂直,切口表面平整,不得有裂紋、毛刺。

(3)各種閥門應在安裝前清洗,清洗前先應研磨、試壓合格,然後拆成零部件,並在三氯乙烯或四氯化碳溶劑中浸泡1~1.5h。安全閥清洗後應當重新試壓。

(4)波紋管等無法拆解成零部件的閥門,應在組裝的情況下清洗。對清洗的效果可用下法檢查:從閥門入口處注入清洗溶劑,並使溶劑流經閥門各處,閥門流出的溶劑過濾後用顯微鏡檢查過濾器表面情況是否符合設計要求。

(5)采用普通不鏽鋼管時,其表面若粘附有油汙,安裝後清洗十分困難,應當將原管放入清洗槽內清洗。管道內壁的酸洗工作,必須保證清除掉的鏽蝕部分而不損害未鏽蝕的表面。

(6)氧氣管路的閥門、附件等,應當嚴格禁油,並在安裝前按有關要求嚴格脫脂。

3.金屬管道的連接

(1)管道材質。用于輸送高純氣體的金屬管道材質主要有:

1)低碳不鏽鋼。大流量高純、高潔淨氣體原則上全部采用低碳不鏽鋼管。

2)銅管。在半導體企業中,個別生産工藝如砷化镓的操作,爲了防止産生器件電阻,不允許使用銅制管路及其附件,只能使用不鏽鋼材料。

(2)連接方式:

1)焊接。高純、高潔淨氣體管道,原則上采用焊接,但不能直接對焊,應采用套管接頭。

a不鏽鋼管的焊接:采用氩弧焊,同時管內通入同等純度的氩氣,防止焊接部位氧化。

b鋼管的焊接:采用40%銀焊條,氮氣保護焊,管內通入工藝氣體同等純度的氮氣。但要注意,一旦氮氣中斷或氮氣純度下降,會在焊口附近生成銅的氧化物,産生浸潤表面的可能性。所以,當銅管焊接完畢後,要用浸漬丙酮的紗布來回擦拭管內,消除焊接處可能産生的氧化物。

2)螺紋連接。螺紋連接的氣密性不如焊接的好,不適用于高純、高潔淨氣體管路連接。螺紋連接使用的密封填料殘渣有帶入氣體的危險,而且內外螺紋旋緊時,金屬間的摩擦會産生金屬粉塵粒子,汙染氣體。如確實必要,應在銅與銅、銅與銅合金附件螺紋連接時,在外螺紋上均勻地挂上一定量的焊條,提高密封效果,盡可能減少金屬粉塵。

3)法蘭連接。螺紋或法蘭連接處的密封材料應采用聚四氯乙烯,爲確保密封效果,在墊片上塗敷少量氟橡膠(白色、室溫固化)。

(3)管路附件的使用:

1)管路附件的材質的選用原則應與管材的選用原則一致。

2)在采用銅材的管路系統中,可以使用不鏽鋼材質的管道附件;但在不鏽鋼材質的管路系統中,不容使用銅制材料的管道附件。

氣體管道工程的施工應該以安全爲重,安全重于泰山。現在大家知道潔淨車間高純氣體管道的安裝、施工需要注意的地方和要求了吧。